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Mikrosystemtechnik - MS (5 SWS)

Pflichtfach im Studiengang Mechatronik

Voraussetzungen: Grundkenntnisse in Werkstofftechnik, Mathematik und angewandte Physik

Zeitpunkt: 5. Sem. (3 V + 1 Ü+ 1 P)

Ziel:
Vermittlung der technologischen und theoretischen Grundkenntnisse des interdisziplinären Fachgebietes Mikrosystemtechnik. Die Mikrosystemtechnik (MST), die im gewissen Sinne die Möglichkeiten der Mikroelektronik erweitert, ermöglicht die Herstellung kleinster Chips und Module, die mehrere Funktionen oder auch völlig neue Funktionen ausführen können. Mikrosysteme analysieren über entsprechende Sensoren "Sinneseindrücke", d.h. physikalische, chemische oder biologische Parameter, kommunizieren mit anderen Systemen oder lösen über sogenannte Mikroaktoren, wie miniaturisierte Schalter, Ventile und Pumpen Aktivitäten aus. Als Basis der MST kann die Mikrostrukturierung angesehen werden. Dieses Verfahren läßt sich in herausragender Weise auf das von der Mikroelektronik bekannte Ausgangsmaterial Silizium anwenden. Silizium bietet den Vorteil, daß elektronische Elemente wie Transistoren, Operationsverstärker oder Mikrocontroller mit mechanischen Mikrostrukturen wie Membranen, Biegebalken, Wellenleiter etc. zu einem monolithisch integrierten Bauelement (System) zu vereinen.