Mikrosystemtechnik
1. Einführung und Motivation
- Einführung (Erläuterung von ca. 40 REM-Aufnahmen sowie Praxisbeispiele im Vorgriff)
- Was ist eigentlich Mikrosytemtechnik?
- Was sind MEMS ? Wo ist der Bezug zur Mechatronik ?
- Was bedeutet Technologie ?
- Welche Märkte sind von Bedeutung ?
2. Ausgewählte Grundlagen zur Mikro- und Nanotechnik
- Motivation zur Schrödingergleichung
- Atome, Moleküle, Festkörper
- Eigenschaften von mikro- und nanostrukturierten Halbleitern
3. Basis - Technologie der Mikrosystemtechnik
- Herstellung von einkristallinen Halbleitern
- Charakterisierung von Halbleiterparametern
- Dotierung
- Lithografie
- Schichterzeugung und Charakterisierung
- Ätztechniken, Naß- und Trockenätzverfahren
- Prozeßintegration
- Verwandtschaft der MS- und ME - Technologie
4. Volumen Mikromechanik (bulk micromachining, BMM)
- Silizium als mechanisches Material
- Isotropes und anisotropes Naßätzen
- Ätzstopp - Techniken
5. Oberflächenmikromechanik (surface micromachining, SMM)
- Basis-Konzept: sacrificial layer etching
- Die Bedeutung von Polysilizium in der SMM
6. Dickschichttechnik
- Dick- und Dünnfilm-Technik
- Hybrid - Integration
7. Aufbau und Verbindungstechnik AVT
8. LIGA-Technik
9. Anwendungen
- Integrierte Optik
- Mikrosensoren, integrierte Silizium-Sensoren: Gyroskope, Beschleunigungssensoren u.a.
- Mikroaktorik
10. Design und Simulation von Mikrosystemen
- Entwurfsstrategien
- Simulationsmöglichkeiten
- Prozeßsimulation
- Devicesimulation
- Schaltungssimulation
- FEM-Simulationen
- Systemsimulation, Simulatorkopplung
- Standardelemente der Mikrosystemtechnik
- Biegebalken, Membranen, Aktorelemente