Mikrosystemtechnik

• Einführung (Erläuterung von ca. 40 REM-Aufnahmen sowie Praxisbeispiele im Vorgriff)
• Was ist eigentlich Mikrosytemtechnik?
• Was sind MEMS ? Wo ist der Bezug zur Mechatronik ?
• Was bedeutet Technologie ?
• Welche Märkte sind von Bedeutung ?

2. Ausgewählte Grundlagen zur Mikro- und Nanotechnik

• Motivation zur Schrödingergleichung
• Atome, Moleküle, Festkörper
• Eigenschaften von mikro- und nanostrukturierten Halbleitern

3. Basis - Technologie der Mikrosystemtechnik

• Herstellung von einkristallinen Halbleitern
• Charakterisierung von Halbleiterparametern
• Dotierung
• Lithografie
• Schichterzeugung und Charakterisierung
• Ätztechniken, Naß- und Trockenätzverfahren
• Prozeßintegration
• Verwandtschaft der MS- und ME - Technologie

4. Volumen Mikromechanik (bulk micromachining, BMM)

• Silizium als mechanisches Material
• Isotropes und anisotropes Naßätzen
• Ätzstopp - Techniken

5. Oberflächenmikromechanik (surface micromachining, SMM)

• Basis-Konzept: sacrificial layer etching
• Die Bedeutung von Polysilizium in der SMM

6. Dickschichttechnik

• Dick- und Dünnfilm-Technik
• Hybrid - Integration

7. Aufbau und Verbindungstechnik AVT

8. LIGA-Technik

9. Anwendungen

• Integrierte Optik
• Mikrosensoren, integrierte Silizium-Sensoren: Gyroskope, Beschleunigungssensoren u.a.
• Mikroaktorik

10. Design und Simulation von Mikrosystemen

• Entwurfsstrategien
• Simulationsmöglichkeiten
• Prozeßsimulation
• Devicesimulation
• Schaltungssimulation
• FEM-Simulationen
• Systemsimulation, Simulatorkopplung
• Standardelemente der Mikrosystemtechnik
• Biegebalken, Membranen, Aktorelemente